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中国DUV开发公司成立三年,成功实现国产化

趙容晟 기자 2026-07-29 14:25
图源:路透社
[图源:路透社]
中国成功实现了浸没式DUV(深紫外线)光刻机的国产化,相关设备开发公司为成立于上海的爱晟纳(爱晟纳电子技术集团)。

据路透社29日援引匿名消息人士的报道,爱晟纳正在招募国内光刻机专家,致力于制造浸没式DUV光刻机。

爱晟纳成立于2023年8月,注册资本为70亿元人民币(约合1.5万亿韩元)。上海电气(SMEE)和上海市政府下属的上海国际信托各持有50%的股份,均为国有企业。路透社报道,爱晟纳吸纳了SMEE和宇量昇的光刻机开发团队。SMEE和宇量昇均为光刻机制造商,宇量昇被视为华为的关联公司,其母公司为半导体设备公司新凯来。

分析认为,中国在2023年成立爱晟纳并整合SMEE与宇量昇的开发团队,以加快国家层面的DUV设备开发进程。

此前,美国IT媒体《信息》在28日的报道中提到,中国的一家半导体设备公司正在制造浸没式DUV光刻机,预计今年将交付5台,明年将交付20台,但未透露该公司的名称。

如果中国成功制造浸没式DUV光刻机,这将被视为历史性的技术突破。新加坡管理大学的副教授傅芳剑在接受《联合早报》采访时表示:“这将成为中国克服美国技术压力的一个突破口。”

此外,总部位于新加坡的Advantage Research Consulting创始人张盼表示:“如果中国能够制造DUV光刻机,那么突破7纳米半导体工艺技术只是时间问题。如果中国加速光刻机技术的开发,将对美国主导的全球半导体生态系统构成实质性威胁。”



※ 本报道经人工智能(AI)系统翻译与编辑。

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