DB哈itech将微电子机械系统（MEMS）工艺设备移交给国家纳米工厂整合平台“Moafab”。此举旨在将企业使用的制造设备提供给公共研究设施，以拓宽研究机构和中小型无厂半导体公司的原型制作基础。
DB哈itech于6日在忠北阴城的上宇校园与科学技术信息通信部及Moafab相关人员举行了半导体设备移交协议的签署仪式。
DB哈itech将移交1台高温热处理设备和2台刻蚀设备，共计3台MEMS工艺设备。这些设备将安装在Moafab参与机构的纳米综合技术院和纳米融合技术院，用于研发和原型制作。
MEMS技术利用半导体工艺实现传感器和微型机械结构的结合。由于其在汽车、移动设备、医疗器械和工业传感器等领域的广泛应用，建立公共基础设施以支持初期原型制作显得尤为重要。
此次设备移交是科学技术信息通信部与三星电子、SK海力士和DB哈itech于去年3月签署的Moafab支持协议的实际落实。
国家纳米工厂不仅服务于大学和研究机构，也为没有自有生产设施的无厂半导体公司及材料、零部件、设备企业提供工艺技术验证的基础。设备的增加预计将缩短MEMS领域的工艺开发和产品商业化所需的测试时间。
DB哈itech表示，除了设备移交外，还计划提供半导体制造技术和工厂运营所需的咨询服务。公司将把在生产现场积累的工艺管理经验与公共研究基础设施共享，以扩大对系统半导体生态系统的支持范围。
DB哈itech相关人士表示：“通过捐赠MEMS工艺设备，我们将扩大对国家纳米工厂的支持，并将持续提供半导体制造技术和工厂运营的咨询。”
※ 本报道经人工智能（AI）系统翻译与编辑。
